cf4

干法刻蚀工序中的常用气体之CF4

CF4是干法刻蚀工序中的常用气体，它除了在干法刻蚀中被经常用到外，在真空腔室的清洁中，也是不可或缺的气体。那么CF4气体有哪些物化性质？高纯CF4气体会有哪些杂质？可以用在哪些晶圆材料的刻蚀？